Физико-химические закономерности формирования тонкопленочных металлополимерных систем из газовой фазы

Практический интерес представляет рассмотрение распределения плотности активных центров в полимере при формировании адгезионно-прочной тонкопленочной системы. При взаимодействии слоя полимера с высокоэнергетичной поверхностью в условиях высокой подвижности активных центров можно принять, что выполняется соотношение Pn|1 – n3| << 1. Тогда из уравнения (1) получим

61 src="images/referats/13690/image020.png">, (5)

Анализ (5) показывает, что с увеличением потенциала поверхности (параметра S1) и толщины покрытия происходит возрастание плотности активных центров на границе раздела пленка–подложка. Причем при достижении определенной толщины (тем большей, чем больше величина параметра S1) рост плотности активных центров прекращается (наступает «насыщение»). На внешней поверхности плотность центров при некоторой толщине слоя lm имеет минимальное значение. При этом с увеличением параметра S1 глубина минимума возрастает, и его координата смещается в область больших значений толщины.

Таким образом, из достаточно простого анализа следует, что характер размерных зависимостей физико-механических свойств полимерных покрытий определяется межмолекулярным взаимодействием и его соотношением с потенциалом поля поверхности.

Как следствие проявления неоднородности химического состава по толщине слоя, следует рассматривать и размерные эффекты оптических свойств полимерных покрытий [43]. Показано, в частности, что зависимость показателя преломления ПТФЭ от толщины слоя является немонотонной: показатель преломления в приповерхностном слое имеет наибольшее значение, на расстоянии от подложки d=120–139 нм – минимальное и при дальнейшем увеличении толщины возрастает и достигает практически постоянного значения при d>1,0 мкм (рис. 4).

Следует отметить, что пленки ПТФЭ имеют достаточно низкий показатель преломления (n=1,33–1,38), обладают высокой прозрачностью в видимой области, что определяет их высокую перспективность при использовании в качестве интерференционных просветляющих элементов.

Толщина покрытия оказывает влияние и на дисперсию. При увеличении толщины dn/dλ уменьшается, что связано, по-видимому, с увеличением числа морфологических структур, равномерно распределенных в объеме полимера. В видимой области показатель преломления при изменении длины волны практически постоянен, что позволяет не учитывать дисперсию при разработке и изготовлении интерференционных покрытий из ПТФЭ. Наиболее заметная дисперсия наблюдается в УФ области.

При исследовании полимерных покрытий, полученных из продуктов электронно-лучевого диспергирования, методом ИК-спектроскопии установлено, что непосредственно на поверхности формируется слой, содержащий более высокую концентрацию кислородосодержащих фрагментов и имеющий более высокую степень упорядоченности [43]. При этом характер изменения концентрации функциональных групп по толщине граничного слоя зависит от природы металлической подложки [44].

Механические свойства покрытий, их адгезионная прочность в значительной степени зависят от режима и вида предварительной активационной обработки поверхности подложки. Установлено, что достаточно высокая адгезия достигается при обработке подложки в плазме тлеющего разряда или ее нагреве до температур 120 – 1800С (для пленок ПТФЭ) [31, 45]. При окислении полимера (ПЭ, ПТФЭ и других) адгезия возрастает. Однако их деформационные свойства резко снижаются. Толщина покрытия также влияет на их адгезию [46]. Более прочно связаны с подложкой тонкие покрытия. Из-за отрицательного влияния внутренних напряжений с увеличением толщины покрытия адгезионная прочность снижается и при d>10 мкм практически не изменяется.

Сильно выраженную зависимость от толщины полимерного покрытия имеют и коэффициент трения fтр (рис. 5), краевой угол смачивания Θ [46]. Для неокислительных пленок ПТФЭ зависимости fтр(d) и Θ(d) близки по своему характеру к зависимости показателя преломления от толщины слоя: при значении d ~ 0,5 1 мкм fтр и Θ имеют минимальное значение. При окислении полимера коэффициент трения имеет более высокие значения и монотонно снижается при увеличении толщины покрытия. Данные особенности, а также корреляция зависимостей fтр(d) и Θ(d) свидетельствуют о преимущественном влиянии адгезионных взаимодействий на параметры трения тонких полимерных покрытий. Установленные эффекты полностью согласуются с результатами приведенного выше их аналитического описания в рамках релаксационно-диффузионной теории межфазных процессов [8].

Установлено, что тонкие полимерные покрытия, полученные из активной газовой фазы, имеют высокую износостойкость, особенно в тонких слоях (рис. 6) [47].

Заключение

Установленный эффект, а также данные о защитных свойствах покрытий, приведенные в [43] свидетельствуют об определяющем влиянии процессов объемного структурообразования на свойства покрытий. В связи с этим в качестве одного их эффективных направлений повышения физико-механических свойств покрытий следует рассматривать формирование многослойных тонкопленочных систем из материалов, имеющих ограниченную термодинамическую совместимость.

Достаточно высокие эксплуатационные свойства полимерных покрытий определяют их эффективное использование в микроэлектронике (диэлектрические и полупроводниковые слои, резистивные покрытия, защитные и гидрофобные пленки и др.), машиностроении (антифрикционные, антикоррозионные и декоративные покрытия, многослойные и комбинированные пленочные материалы), оптике (интерференционные и селективные слои, фильтры), сенсорике (ионоселективные мембраны, электроды, пленочные электролиты и др.).

Литература

1. Технология вакуумной металлизации полимерных материалов / Ю.В. Липин, А.В. Рогачев, С.С. Сидорский, В.В. Харитонов. Гомель: БИТА, 1994. – 206 с.

 Скачать реферат